阻值為1GΩ或者更高的電阻器常常稱為高兆歐電阻器。高兆歐電阻器使這些元件成為不尋常的器件。所以在對其進行測量時，要考慮以下幾種因素：電壓系數和溫度系數、機械振動的影響及污染等。

電阻器經過表面涂敷，以避免在其表面形成水膜。所以，如果由于不當的處理或空氣污染物的沉積而在其表面形成薄膜，則應使用浸了甲醇的泡沫簽來清洗。清洗之后，應當使電阻器在低濕度的空氣中干燥幾個小時，以便使靜電消散。

廣泛使用的高兆歐電阻器有兩種：碳膜電阻器和金屬氧化物電阻器。與普通電阻器相比，碳膜高兆歐電阻器噪聲大、不穩定、溫度系數高、電壓系數大、并且非常脆。金屬氧化物型電阻器近年來的發展使其電壓系數大為降低，溫度系數和時間穩定性也得到改進。現代的器件可以達到電壓系數小于5ppm/V，經過5年的測試以后沒有明顯的漂移。100MΩ的溫度系數在0.01%/℃，100GΩ的溫度系數在0.025%/℃。

處理這類電阻器要特別小心。由于機械振動引起導電材料的微粒移動，可能會大大改變電阻的數值。不要觸摸電阻元件或其玻璃外殼也是非常重要的。這樣做以后，由于產生了新的電流通路或者產生了小的電化學產生電流，從而可能會改變其電阻值。